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相应地,用来曝光洗印“照片”
的光刻机的精度,也必须越来越高,否则,你设计的“照片”
再精美,印不出来也没有用。
比如,未来博米的智能手机需要用到低于10nm级别的芯片,生产这样的芯片,要用到的最先进的极紫外光刻机。
它的精度要达到什么样的程度呢?首先,如果把光想象成一把刻刀的话,那么光波越短,这把刻刀就越锋利。
1纳米等于百万分之一毫米,7纳米芯片意味着,它的每个元器件之间,只允许有几纳米的间隔距离,相当于一根头发丝粗细的万分之一。
要曝光这样的芯片,必须采用一种特殊的光源,也就是极紫外光,它的波长只有13.5纳米,是可见光波长的几十分之一。
但是,极紫外光源很难制造。
直到今年年初,阿斯麦才研制出了第一台极紫外光刻机。
不过这个进程已经比曹阳前世的要提前太多了。
光刻机的第二个技术难点,是用来调整光路和聚焦的光学镜头。
高度精密的光学镜头是光刻机的核心部件之一,所以,排在阿斯麦之后的另外两家光刻机生产商,尼康和佳能,都是生产光学镜头的佼佼者。
阿斯麦自己不生产镜头,它的镜头来自德国的光学大师卡尔蔡司。
这种镜头有多精密呢?如果把镜头放大到一个地球那么大,它上面只允许有一根头发丝那样的凸起。
所以有人说,这可能是宇宙中最光滑的人造物体。
国内吃亏就吃亏在没有完整的产业链,尤其是光学元件所需要的产业链上面,摄像头,照相机基本上都是来自于国外公司生产,很少能将光学元件打磨到那么精细。
所以这一块还有很长的路要走。
最后一个难点就在于【精准】
芯片不是一次曝光就可以完成的,而是必须更换不同的掩膜,进行多次曝光。
芯片的每个元器件之间只允许有几纳米的间隔。
这就意味着,掩膜和硅晶圆每次对准的误差,也必须控制在纳米级别。
曝光完一个区域之后,放置硅晶圆的曝光台必须快速移动,接着曝光下一个区域。
要在快速移动中实现纳米级的对准,这个难度就相当于,你要从眨眼之间,端着一盘菜从bj天安门冲到上海外滩,恰好踩到预定的脚印上,菜还保持端平不能洒。
当然,这还有一系列外围的技术难题,比如,室外空气干净1万倍的超洁净厂房,防止机器抖动的磁悬浮装置,以及配套的计算光刻软件等等。
这就是为什么光刻机被称为“半导体工业皇冠上的明珠”
的原因了。
制造一台极紫外光刻机,就是在挑战人类工业文明的极限。
……
在听到清大唐教授团队居然能研发出稳定的极紫外光源的时候,曹阳是肉眼可见的兴奋。
因为这件事情真的太伟大了,意味着曹老板并没有白活这一辈子,他也没有白投入芯片领域的发展,现在能推动解决三个难题当中的一个就已经非常了不起了。
所以曹阳赶紧给张如京答复说自己一定要去参观。
……
唐教授的实验室并不是很大,在外面摆放着许多的电脑,然后里面的隔间有一面是透明玻璃,在实验室当中摆放着许多的设备,曹阳根本叫不上名字,通过一些奇形怪状的线串联起来。
曹阳在外面看着这一切,觉得真的是很神奇。
他前世打交道最多的是电脑,还很少接触物理实验室什么的,只有在刘强他们的硬件制造部门才能看到类似的高科技研发场景。
唐教授带领大家参观着,然后给他们做着介绍和科普,让曹阳他们简单了解一些实验室当中的极紫外光光源是怎么做出来的。
博米公司也算是团队最大的金主了,为了推进国内的芯片事业,博米没少下本钱。
不过这种事情本来就是需要大量的金钱和时间堆出来的,早堆早好。
晚堆带来的代价更高。
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